微電子行業超純水設備

2020-09-04

　　電子、半導體、液晶顯示、光伏工業生產在制作過程中，往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質達不到生產工藝用水的要求或者水質不穩定的話，會影響到后續工藝的處理效果和使用壽命。因此水的質量相當重要。采用反滲透加EDI的脫鹽工藝，可以達到超純水標準。

　　【出水水質】

　　超純水設備出水水質符合中國電子行業超純水國家標準(GB/T11446.1-1997 )規定。

 

 

成都超純水設備

 

　　【典型工藝】

　　原水箱→原水泵→多介質過濾器→活性碳過濾器→保安過濾器→一級反滲透→二級反滲透→純水箱→純水泵→TOC分解器→脫氣膜→保安過濾器→EDI裝置→純水箱→純水泵→拋光混床→膜過濾器→生產線用水點

　　【應用】

　　微電子行業包括了電解電容器生產、電子管生產、顯像管和陰極射線管生產、黑白顯像管熒光屏生產、液晶顯示器的生產、晶體管生產、集成電路生產、單晶硅、多晶硅生產、電子新材料生產等生產工藝，都需要工業超純水。

　　萊特萊德成都水處理設備公司采用膜法工藝(反滲透→EDI→拋光混床)，使超純水制備從傳統的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器等發生了一次革命，從此進入了一個無需再生化學品的時代。高科技膜法制備出來的工業純水，其純度可達到18MΩ·CM，且系統穩定，使用壽命長，且生產過程所產生的廢水又可回用再生。